中國半導體行業(yè)協(xié)會秘書長蒞臨沈陽科儀公司
6月19日，中國半導體行業(yè)協(xié)會秘書長徐小田，在沈陽市經委于浩處長、沈陽國家高新技術產業(yè)開發(fā)區(qū)新加坡工業(yè)園管委會楊琦副主任等領導的陪同下，蒞臨沈陽科儀參觀指導。 沈陽科儀公司常務副總裁李昌龍、副總裁張振厚首先向徐秘書長簡要介紹了公司概況，隨后陪同來訪領導參觀了PECVD事業(yè)部和潔凈間。徐秘書長饒有興趣地聽取了PECVD事業(yè)部總經理姜謙博士對PECVD設備研發(fā)進展情況的介紹，并詳細詢問了設備的壽命實驗、市場銷售等情況。在參觀了IC裝備零部件等產品裝配現場后，徐秘書長建議在第六屆中國國際集成電路博覽會暨高峰論壇（IC China 2008）等展會上，對PECVD整機設備以及羅茨干泵（機組）、渦旋干泵、超高真空閘板閥等IC裝備關鍵部件做一個專題報告，進一步推動IC裝備及零部件的國產化進程。
