2008年8月20日下午，國(guó)家科技部副部長(zhǎng)曹健林、科技部高新司副司長(zhǎng)戴國(guó)強(qiáng)一行在遼寧省政府副秘書(shū)長(zhǎng)馬祥圖、省科技廳廳長(zhǎng)趙明鵬、省科技廳副廳長(zhǎng)劉曉東、沈陽(yáng)市副市長(zhǎng)鄒大挺以及沈陽(yáng)市科技局、沈陽(yáng)市高新區(qū)、中科院沈陽(yáng)分院領(lǐng)導(dǎo)的陪同下，蒞臨沈陽(yáng)科儀，出席遼寧IC裝備研發(fā)及產(chǎn)業(yè)發(fā)展匯報(bào)會(huì)。沈陽(yáng)科儀、沈陽(yáng)自動(dòng)化所等八家單位代表參會(huì)。
會(huì)議由省科技廳廳長(zhǎng)趙明鵬主持，省科技廳副廳長(zhǎng)劉曉東對(duì)遼寧省IC裝備發(fā)展現(xiàn)狀、加速推進(jìn)IC裝備產(chǎn)業(yè)發(fā)展的措施、遼寧發(fā)展IC裝備的條件與優(yōu)勢(shì)、遼寧IC裝備未來(lái)發(fā)展與設(shè)想等方面向曹副部長(zhǎng)進(jìn)行了匯報(bào)，在感謝科技部領(lǐng)導(dǎo)對(duì)遼寧IC裝備產(chǎn)業(yè)發(fā)展給與重視的同時(shí)，希望得到科技部領(lǐng)導(dǎo)的繼續(xù)關(guān)注和支持。
隨后，曹健林副部長(zhǎng)聽(tīng)取了沈陽(yáng)市副市長(zhǎng)鄒大挺關(guān)于沈陽(yáng)市IC裝備進(jìn)展情況和人才隊(duì)伍建設(shè)情況的匯報(bào)。鄒副市長(zhǎng)表示，近年來(lái)，沈陽(yáng)市IC裝備產(chǎn)業(yè)已經(jīng)初步形成了集研發(fā)設(shè)計(jì)、生產(chǎn)加工于一身的行業(yè)體系，未來(lái)的規(guī)劃將緊跟國(guó)家步伐，與上海、北京等地協(xié)同發(fā)展，圍繞著國(guó)家重大專項(xiàng)的實(shí)施和新興產(chǎn)業(yè)的建設(shè)，走特色、優(yōu)勢(shì)之路。
遼寧省政府副秘書(shū)長(zhǎng)馬祥圖、中科院沈陽(yáng)分院副院長(zhǎng)馬思也相繼代表遼寧省政府和沈陽(yáng)分院發(fā)表講話，感謝科技部領(lǐng)導(dǎo)對(duì)遼寧省、沈陽(yáng)市IC裝備產(chǎn)業(yè)發(fā)展的關(guān)注和支持，并表示將盡最大的努力做好配套支撐。曹健林副部長(zhǎng)在總結(jié)講話中首先充分肯定了遼寧省近年來(lái)IC裝備產(chǎn)業(yè)取得的成績(jī)，并對(duì)遼寧省IC裝備產(chǎn)業(yè)發(fā)展提出了建議：第一，要做好關(guān)鍵技術(shù)攻關(guān)，下決心將關(guān)鍵技術(shù)本土化，像沈陽(yáng)科儀PECVD這樣促進(jìn)零部件本土化的項(xiàng)目，以后要加大力度支持；第二，要形成有效的競(jìng)爭(zhēng)機(jī)制，發(fā)動(dòng)全國(guó)同行業(yè)具有優(yōu)勢(shì)的單位共同攻克難題，協(xié)同發(fā)展；第三，要將我們的成果不斷地打入市場(chǎng)并盡快投入使用，促進(jìn)國(guó)產(chǎn)化，給國(guó)人以信心；做好企業(yè)的聯(lián)合與合作，是促進(jìn)產(chǎn)業(yè)發(fā)展的唯一出路。
針對(duì)沈陽(yáng)地區(qū)發(fā)展 IC裝備產(chǎn)業(yè)，曹副部長(zhǎng)也提出了幾點(diǎn)希望：首先，要定位準(zhǔn)確，扎扎實(shí)實(shí)地做適合自身發(fā)展的設(shè)備，走適合自己的路；其次，要在物質(zhì)和精神上都做好長(zhǎng)期作戰(zhàn)準(zhǔn)備，經(jīng)受住來(lái)自時(shí)間、環(huán)境的各方面考驗(yàn)；再次，要充分揚(yáng)長(zhǎng)避短，發(fā)揮自身的長(zhǎng)項(xiàng)優(yōu)勢(shì)。此外，曹副部長(zhǎng)也對(duì)地方政府提出了十分中肯的建議：要做好調(diào)研，知己知彼方能百戰(zhàn)不殆；要引進(jìn)優(yōu)秀的外來(lái)企業(yè)，促進(jìn)本地企業(yè)的發(fā)展，同時(shí)加強(qiáng)海外優(yōu)秀人才的引進(jìn)；在資金方面，要競(jìng)爭(zhēng)與“后補(bǔ)助”相結(jié)合，這是對(duì)企業(yè)最合適也是最負(fù)責(zé)任的做法；省市政府要做好相應(yīng)的配套支撐。講話的最后，曹副部長(zhǎng)表示，沈陽(yáng)是我國(guó)IC裝備行業(yè)的重要力量，經(jīng)過(guò)幾年的努力，做到了國(guó)家經(jīng)濟(jì)建設(shè)與科技力量發(fā)展的良好結(jié)合，科技部將為推動(dòng)遼沈地區(qū)IC裝備產(chǎn)業(yè)發(fā)展盡一份微薄之力，并期待共享收獲的喜悅。
曹健林副部長(zhǎng)針對(duì)遼沈地區(qū)自身特點(diǎn)提出了務(wù)實(shí)可行的意見(jiàn)和建議，對(duì)遼沈地區(qū)IC裝備產(chǎn)業(yè)的發(fā)展，具有重要的指導(dǎo)意義。（沈陽(yáng)科儀公司供稿）
