匯報現(xiàn)場
1月27日至1月28日，02專項辦公室、科技部重大專項辦公室的領導和專家對中國科學院沈陽自動化研究所承擔的國家科技重大專項（02專項）子課題“鋁合金真空電子束焊接工藝研究”進行了驗收。經(jīng)查閱資料、現(xiàn)場匯報、現(xiàn)場質(zhì)詢和現(xiàn)場測試等環(huán)節(jié)，課題順利通過了驗收。
目前，IC裝備中的鋁合金零件，特別是腔體類零件大多數(shù)為中厚板材整體銑削而成，雖然保證了鋁合金零部件的可靠性，但同時帶來了極大的浪費。為此，課題組系統(tǒng)研究了真空電子束設備、焊接工藝、管理體系等對焊接質(zhì)量的影響，開發(fā)了相應腔體的真空電子束焊接工藝，為我國IC裝備及TFT大型面板裝備等超大型鋁合金零部件制造提供了低成本解決方案，并縮短了IC裝備真空腔體的制造周期，為IC裝備制造業(yè)發(fā)展起到支撐和促進作用。（裝備制造技術研究室）
